| Katon® 材質 | 基本材質 | Shore A (±5) | 使用温度範囲 | 架橋方式 | 色 |
|---|---|---|---|---|---|
| Katon® 9075B | FFKM | 75 | -10℃~317℃ / 14℉~602℉ | Trizane | BLACK |
| Katon® 9080B | FFKM | 80 | -10℃~317℃ / 14℉~602℉ | Trizane | BLACK |
| Katon® 9075W | FFKM | 75 | -10℃~317℃ / 14℉~602℉ | Trizane | BEIGE |
| Katon® 9075C | FFKM | 72 | -10℃~317℃ / 14℉~602℉ | Trizane | DARK AMBER |
| Katon® 8075B | FFKM | 75 | -10℃~290℃/14℉~554℉ | Peroxide | BLACK |
| Katon® 8075W | FFKM | 75 | -10℃~290℃/14℉~554℉ | Peroxide | WHITE |
| Katon® 8175C | FFKM | 77 | -10℃~290℃/14℉~554℉ | Peroxide | UMBER |
半導体・電子
Katon® では、電子機器、電気機器、そして半導体産業において、最高水準の信頼性と精密性が求められることを深く理解しています。当社のシーリングソリューションは、過酷な環境条件にも耐えうるよう設計され、安定した性能を発揮し、お客様の設備が常に円滑に稼働することを支えます。電気関連アプリケーション、半導体製造装置、または製造後の配管設備に至るまで、これら重要産業の厳しい要求に応える製品を開発・提供しています。
酸化プロセス
熱酸化やアニールなどの酸化プロセスは、半導体デバイス製造において不可欠な工程です。これらのプロセスでは、極めて高温な環境、乾式または湿式酸素雰囲気、そして長時間のプロセスサイクルにさらされることが多く、炉、拡散炉、ランプアニール装置などで実行されます。このような過酷な条件はシール材に大きな負荷を与えるため、優れた耐熱性と耐薬品性が求められます。本カテゴリーの Katon® コンパウンドは、高温酸化環境向けのシーリングソリューションを提供し、酸素曝露や連続加熱条件下でも確実なシール性能を維持します。これにより、拡散、アニール、酸化装置でのリスクを最小限に抑えます。
特長とメリット
- 炉やアニール環境に適した優れた耐高温性
- O₂、水蒸気（H₂O）、不活性ガスを含む乾式および湿式酸化雰囲気に対応
- 熱サイクルや長時間の高温曝露下でもシール性能を維持
- 石英チューブシステム、オーブン、ランプアニール装置に適合する標準およびカスタム形状プロファイルを提供可能
対応サイズ一覧
対応環境
推奨環境
- シリコンウェーハの乾式または湿式熱酸化に使用される高温酸化炉
- 酸素、窒素、不活性ガス雰囲気下で稼働するアニール炉およびランプアニール装置
- 石英チューブ端部、チャンバー扉、フランジ接合部などの静的シール部位
非推奨環境
- 高温シール性能を必要としない一般産業用途
- 特殊グレードを使用しない状態で、特定のハロゲン化流体への耐性が求められる用途
- 六フッ化ウラン（UF₆）に曝される環境
サービス内容
Katonは、高品質なOリングを提供するだけではありません。お客様に寄り添い、最初から最後まで一貫した価値ある体験をご提供します。
当社のサービス内容は以下の通りです。
- 専門的なコンサルティング
経験豊富なエンジニアと製品スペシャリストが、お客様の具体的なニーズを丁寧にヒアリングし、最適なシールソリューションをご提案します。 - カスタム対応
サイズ、材質（FFKM、FKM、パーフロロエラストマーなど）、形状などを柔軟にカスタマイズし、お客様の用途に完璧に適合するガスケット・Oリングを製作します。 - 迅速な納期対応
先進的な製造設備と効率的な生産体制により、短納期での製造と納品を実現し、プロジェクトのスケジュールを確実にサポートします。 - 技術サポート
材料選定、使用環境に応じたアドバイス、トラブルシューティングなど、専門知識を持つサポートチームが常にお客様を支援します。 - グローバル対応
Katon®は世界中の産業分野に信頼性が高くコストパフォーマンスに優れたシーリングソリューションをお届けしています。
標準仕様のOリングから特殊用途向けのカスタムシールまで、Katon®は常にお客様に最適な解決策をご提案します。