ドライプロセスエッチング

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半導体・電子

精密検査装置で測定中の半導体ウェハのクローズアップ ― 多様な環境やウェハ製造プロセスに対応する高純度シーリングソリューションを象徴 Ask ChatGPT

Katon® では、電子機器、電気機器、そして半導体産業において、最高水準の信頼性と精密性が求められることを深く理解しています。当社のシーリングソリューションは、過酷な環境条件にも耐えうるよう設計され、安定した性能を発揮し、お客様の設備が常に円滑に稼働することを支えます。電気関連アプリケーション、半導体製造装置、または製造後の配管設備に至るまで、これら重要産業の厳しい要求に応える製品を開発・提供しています。

ドライプロセスエッチング

半導体製造におけるドライエッチング工程では、シール材が強力なプラズマガス、高真空、そして高温環境に曝されます。これらの条件下では、卓越した耐プラズマ性、低アウトガス性、そしてパーティクル発生を最小限に抑える性能を備えたシールが不可欠です。Katon® の先進パーフルオロエラストマー（FFKM）Oリングおよびシールは、こうした重要なドライプロセスチャンバー内でもシール性能を長期的に維持するよう特別に配合されています。

特長とメリット

•　O₂、CF₄、NF₃、N₂H₂ などの強力なプラズマガスに対する優れた耐性
•　低アウトガス性および極めて少ないパーティクル脱落により、ウェーハの品質を保護
•　高温ドライエッチ条件下での優れた耐熱安定性
•　長期的なプラズマ曝露に対応する先進的なFFKMコンパウンド設計
•　金属イオン汚染および抽出成分の発生リスクを最小化

対応サイズ一覧

Katon JIS B 2401

Katon Metric

Katon AS568

Katon® 材質	基本材質	色	Shore A (±5)	使用温度範囲	架橋方式
Katon® 7178W	FFKM	OFF-WHITE	78	-10℃~230℃/14℉~446℉	Peroxide
Katon® 9075C	FFKM	DARK AMBER	72	-10℃~317℃/14℉~602℉	Triazine
Katon® 7175W	FFKM	WHITE	75	-10℃~230℃/14℉~446℉	Peroxide
Katon® 7275W	FFKM	WHITE	75	-10℃~260℃/14℉~500℉	Peroxide
Katon® 7180W	FFKM	WHITE	80	-10℃~230℃/14℉~446℉	Peroxide
Katon® 8075W	FFKM	WHITE	75	-10℃~290℃/14℉~554℉	Peroxide
Katon® 8175C	FFKM	UMBER	77	-10℃~290℃/14℉~554℉	Peroxide
Katon® 9075W	FFKM	BEIGE	75	-10℃~317℃ / 14℉~602℉	Triazine

耐薬品性データ

対応環境

推奨環境

半導体ドライプロセス
真空チャンバー
O₂、CF₄、N₂、NF₃、He、N₂H₂ などのプラズマガス環境
Oリングやシールからの金属イオン発生を極限まで抑えることが求められる半導体製造工場（ファブ）
FFKMまたはFKMシールに高度な耐薬品性と耐熱性が求められるエッチング環境

非推奨環境

フッ素系冷媒または六フッ化ウラン（UF₆）を使用する環境
特殊グレードを使用しない状態で、特定のハロゲン化流体への耐性が求められる用途

サービス内容

Katonは、高品質なOリングを提供するだけではありません。お客様に寄り添い、最初から最後まで一貫した価値ある体験をご提供します。
当社のサービス内容は以下の通りです。

専門的なコンサルティング
経験豊富なエンジニアと製品スペシャリストが、お客様の具体的なニーズを丁寧にヒアリングし、最適なシールソリューションをご提案します。
カスタム対応
サイズ、材質（FFKM、FKM、パーフロロエラストマーなど）、形状などを柔軟にカスタマイズし、お客様の用途に完璧に適合するガスケット・Oリングを製作します。
迅速な納期対応
先進的な製造設備と効率的な生産体制により、短納期での製造と納品を実現し、プロジェクトのスケジュールを確実にサポートします。
技術サポート
材料選定、使用環境に応じたアドバイス、トラブルシューティングなど、専門知識を持つサポートチームが常にお客様を支援します。
グローバル対応
Katon®は世界中の産業分野に信頼性が高くコストパフォーマンスに優れたシーリングソリューションをお届けしています。

標準仕様のOリングから特殊用途向けのカスタムシールまで、Katon®は常にお客様に最適な解決策をご提案します。