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半導体・電子
精密検査装置で測定中の半導体ウェハのクローズアップ ― 多様な環境やウェハ製造プロセスに対応する高純度シーリングソリューションを象徴        Ask ChatGPT

Katon® では、電子機器、電気機器、そして半導体産業において、最高水準の信頼性と精密性が求められることを深く理解しています。当社のシーリングソリューションは、過酷な環境条件にも耐えうるよう設計され、安定した性能を発揮し、お客様の設備が常に円滑に稼働することを支えます。電気関連アプリケーション、半導体製造装置、または製造後の配管設備に至るまで、これら重要産業の厳しい要求に応える製品を開発・提供しています。


半導体製造装置・クリーンルーム
本カテゴリーの Katon® コンパウンドは、半導体製造装置およびクリーンルーム専用に設計されています。これらの Katon® コンパウンドを使用したOリングおよびシールは、高純度環境に最適化されており、金属フィラーを一切含まず、パーティクル発生を最小限に抑えます。半導体業界の厳格な要求基準を満たし、クリーンかつ効率的な稼働を実現します。
特長とメリット
  • 金属フィラーを一切含まない設計
  • 優れた耐薬品性
  • 極めて低いパーティクル発生
  • 卓越した耐熱性と耐薬品耐久性
対応サイズ一覧
Katon® 材質 基本材質 Shore A (±5) 使用温度範囲 架橋方式
Katon® 2070C FKM-Type 2 70 -5℃~200℃ / 23℉~392℉ Peroxide TRANSLUCENT ★☆☆☆☆ 68~70
Katon® 2075C FKM-Type 2 75 -5℃~200℃ / 23℉~392℉ Peroxide TRANSLUCENT OFF-WHITE ★☆☆☆☆ 68~70
Katon® 4070C FEPM-P 70 -15℃~230℃ / 5℉~446℉ Peroxide BEIGE ★★☆☆☆ 57
Katon® 4075C FEPM-P 75 -15℃~230℃ / 5℉~446℉ Peroxide BEIGE ★★☆☆☆ 57
Katon® 6070C FKM-TPF 70 -10℃~200℃ / 14℉~392℉ Peroxide TRANSLUCENT OFF-WHITE ★★★☆☆ 70
Katon® 6075C FKM-TPF 75 -10℃~200℃ / 14℉~392℉ Peroxide TRANSLUCENT OFF-WHITE ★★★☆☆ 70
Katon® 7178W FFKM 81 -20℃~230℃ / -4℉~446℉ Peroxide OFF-WHITE ★★★★☆ 72
Katon® 8175C FFKM UMBER 77 -10℃~290℃ / 14℉~554℉ Peroxide
Katon® 9075C FFKM DARK AMBER 72 -10℃~317℃ / 14℉~602℉ Triazine
対応環境
推奨環境
  • パーティクル発生を極限まで抑える必要がある高純度クリーンルーム
  • 真空エッチング装置などの半導体製造装置
  • 高い薬品曝露と厳格な清浄度要件を伴う環境
  • 優れた耐プラズマ性と低アウトガス性が求められる用途
非推奨環境
  • 溶融金属または気化したアルカリ金属に曝される環境
  • ハロゲン系冷媒または流体を伴う環境
  • 六フッ化ウラン(UF₆)を取り扱う工程
サービス内容

Katonは、高品質なOリングを提供するだけではありません。お客様に寄り添い、最初から最後まで一貫した価値ある体験をご提供します。
当社のサービス内容は以下の通りです。

  • 専門的なコンサルティング
    経験豊富なエンジニアと製品スペシャリストが、お客様の具体的なニーズを丁寧にヒアリングし、最適なシールソリューションをご提案します。
  • カスタム対応
    サイズ、材質(FFKM、FKM、パーフロロエラストマーなど)、形状などを柔軟にカスタマイズし、お客様の用途に完璧に適合するガスケット・Oリングを製作します。
  • 迅速な納期対応
    先進的な製造設備と効率的な生産体制により、短納期での製造と納品を実現し、プロジェクトのスケジュールを確実にサポートします。
  • 技術サポート
    材料選定、使用環境に応じたアドバイス、トラブルシューティングなど、専門知識を持つサポートチームが常にお客様を支援します。
  • グローバル対応
    Katon®は世界中の産業分野に信頼性が高くコストパフォーマンスに優れたシーリングソリューションをお届けしています。

標準仕様のOリングから特殊用途向けのカスタムシールまで、Katon®は常にお客様に最適な解決策をご提案します。