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半導体・電子
精密検査装置で測定中の半導体ウェハのクローズアップ ― 多様な環境やウェハ製造プロセスに対応する高純度シーリングソリューションを象徴        Ask ChatGPT

Katon® では、電子機器、電気機器、そして半導体産業において、最高水準の信頼性と精密性が求められることを深く理解しています。当社のシーリングソリューションは、過酷な環境条件にも耐えうるよう設計され、安定した性能を発揮し、お客様の設備が常に円滑に稼働することを支えます。電気関連アプリケーション、半導体製造装置、または製造後の配管設備に至るまで、これら重要産業の厳しい要求に応える製品を開発・提供しています。


ウェットプロセスエッチング
半導体製造における湿式エッチング工程では、腐食性の強い薬液槽、酸、高純度溶剤への長時間曝露が不可避です。これらの過酷な液体環境は、優れた耐薬品性、高純度性、そして機械的安定性を兼ね備えたシール材を必要とします。Katon® FFKM Oリングは、化学薬液槽、洗浄システム、ウェーハエッチ槽などの湿式プロセス装置向けに特別設計されており、酸性および酸化性媒体中でも膨潤、成分溶出、劣化を防ぎます。これにより、装置稼働率の維持、歩留まりの確保、プロセスの純度維持に貢献します。
特長とメリット
  • 湿式エッチングおよび洗浄工程で使用される強酸、強アルカリ、酸化剤に対する優れた耐薬品性
  • 低抽出成分および低イオン含有量により、高純度環境でのコンタミネーションを最小化
  • 長時間の液体曝露においても優れた寸法安定性と極めて低い膨潤性
  • H₂SO₄、HCl、HNO₃、HF、SC1、SC2、超純水などの一般的な薬液に幅広く適合
  • 静的アプリケーション、タンク、バス、スプレーシステムにおけるシール破損リスクを低減
対応サイズ一覧
Katon® 材質 基本材質 Shore A (±5) 使用温度範囲 架橋方式
Katon® 7975W FFKM WHITE 75 -10℃~230℃/14℉~446℉ Peroxide
Katon® 9075C FFKM DARK AMBER 72 -10℃~317℃/14℉~602℉ Triazine
Katon® 7178W FFKM OFF-WHITE 78 -10℃~230℃/14℉~446℉ Peroxide
Katon® 7175W FFKM WHITE 75 -10℃~230℃/14℉~446℉ Peroxide
Katon® 7180W FFKM WHITE 80 -10℃~230℃/14℉~446℉ Peroxide
Katon® 7275W FFKM WHITE 75 -10℃~230℃/14℉~446℉ Peroxide
Katon® 7280W FFKM WHITE 80 -10℃~230℃/14℉~446℉ Peroxide
Katon® 8075W FFKM WHITE 75 -10℃~260℃/14℉~500℉ Peroxide
Katon® 9075W FFKM BEIGE 75 -10℃~317℃/14℉~602℉ Triazine
Katon® 8175C FFKM UMBER 77 -10℃~290℃/14℉~554℉ Peroxide
対応環境
推奨環境
  • 半導体湿式エッチングシステム
  • 酸、溶剤、または混合薬液を使用する化学洗浄システム
  • 液体薬品供給システム
非推奨環境
  • 特殊グレードを使用しない状態で、特定のハロゲン化流体への耐性が求められる用途
  • 六フッ化ウラン(UF₆)に曝される環境
サービス内容

Katonは、高品質なOリングを提供するだけではありません。お客様に寄り添い、最初から最後まで一貫した価値ある体験をご提供します。
当社のサービス内容は以下の通りです。

  • 専門的なコンサルティング
    経験豊富なエンジニアと製品スペシャリストが、お客様の具体的なニーズを丁寧にヒアリングし、最適なシールソリューションをご提案します。
  • カスタム対応
    サイズ、材質(FFKM、FKM、パーフロロエラストマーなど)、形状などを柔軟にカスタマイズし、お客様の用途に完璧に適合するガスケット・Oリングを製作します。
  • 迅速な納期対応
    先進的な製造設備と効率的な生産体制により、短納期での製造と納品を実現し、プロジェクトのスケジュールを確実にサポートします。
  • 技術サポート
    材料選定、使用環境に応じたアドバイス、トラブルシューティングなど、専門知識を持つサポートチームが常にお客様を支援します。
  • グローバル対応
    Katon®は世界中の産業分野に信頼性が高くコストパフォーマンスに優れたシーリングソリューションをお届けしています。

標準仕様のOリングから特殊用途向けのカスタムシールまで、Katon®は常にお客様に最適な解決策をご提案します。