選擇指定應用環境

半導體與電子產業

Katon® 專注於為電子與半導體產業提供精密密封件。這些領域中的設備通常運作於高溫、高壓或高腐蝕性的環境，同時對潔淨度與穩定性要求極高。這些產業中的設備往往需要長時間穩定運作，並承受極端製程條件，因此密封材料必須具備出色的耐久性、抗化學性與低汙染特性。Katon® 所開發的密封件可適用於各類製程與設備，從電氣元件到無塵室系統，均能有效提升密封效能並延長設備壽命。

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乾製程&乾式蝕刻

在半導體製程中，乾製程與乾蝕刻使密封材料暴露於高能電漿氣體、高真空與高溫環境之中。這些嚴苛條件對密封材料的耐電漿性、低出氣特性與低微粒產生有極高要求。Katon® 先進的全氟彈性體（FFKM）O-Ring 與密封件專為應對這類乾式製程腔體環境而設計，能有效維持長期密封穩定性。

密封性能亮點

優異的電漿氣體抗性，適用於 O₂、CF₄、NF₃、N₂H₂ 等常見製程氣體
低粒子釋出，有效保護晶圓潔淨度
在高溫乾蝕刻環境下具備良好熱穩定性
FFKM 半導體應用配方，為長時間電漿暴露而設計
降低金屬離子汙染與抽出物風險，提升製程穩定性

可供尺寸規格表

AS568

Katon JIS B 2401

Katon Metric

符合的乾製程&乾式蝕刻 Katon^®牌號

Katon® 牌號	材料	Shore A (±5)	溫度	架橋系統	顏色
Katon® 7175W	全氟	75	-10℃~230℃/14℉~446℉	過氧	白色
Katon® 7180W	全氟	80	-10℃~230℃/14℉~446℉	過氧	白色
Katon® 7175C	全氟	78	-10℃~230℃/14℉~446℉	過氧	米白色
Katon® 7280W	全氟	80	-10℃~260℃/14℉~500℉	過氧	白色
Katon® 7975W	全氟	75	-10℃~230℃/14℉~446℉	過氧	白色
Katon® 8075W	全氟	75	-10℃~290℃/14℉~554℉	過氧	白色
Katon® 8175C	全氟	77	-10℃~290℃/14℉~554℉	過氧	焦茶色
Katon® 9075W	全氟	75	-10℃~317℃ / 14℉~602℉	三嗪	米色
Katon® 9175C	全氟	75	-10℃~317℃ / 14℉~602℉	三嗪	琥珀色

耐化學性數據

適用環境與條件

建議應用

半導體乾式蝕刻製程
高真空閥門與製程
暴露於 O₂、CF₄、N₂、NF₃、He、N₂H₂ 等電漿氣體的製程環境
對 O-ring 與密封件之金屬離子產生有極低容忍度的製程
需使用 FFKM密封件以抵抗化學腐蝕與高溫的蝕刻應用

不建議應用

含氟冷媒或六氟化鈾的應用
未採用特殊配方時，用於特定鹵素類流體的應用需求

客製服務與支援

在 Katon，我們不僅提供高品質的 Katon ORing 產品，更致力於為客戶打造全方位的專業服務體驗。我們的服務包含：

專業技術諮詢：我們的工程團隊與產品專家將深入了解您的應用需求，提供量身打造的密封解決方案。
客製化選項：可依需求提供客製尺寸、材料配方與結構設計，確保密封件完美符合您的應用條件。
快速交貨能力：憑藉先進製造設備與流程，我們能縮短生產與交期，協助您如期完成專案。
技術支援服務：從材料選擇、應用建議到故障排除，我們的技術團隊隨時提供即時協助。
全球服務網絡：Katon® 服務遍佈全球各大產業，致力於為各領域客戶提供穩定可靠、具成本效益的密封品牌。

無論您需要標準 O-Ring 或特殊應用的客製化密封件，Katon® 都能協助您找到最合適的密封件。

產業與應用領域

半導體與電子產業

乾製程&乾式蝕刻

密封性能亮點

可供尺寸規格表

適用環境與條件

客製服務與支援

密封性能亮點

可供尺寸規格表

符合的 乾製程&乾式蝕刻 Katon®牌號

適用環境與條件

建議應用

不建議應用

客製服務與支援

符合的乾製程&乾式蝕刻 Katon^®牌號