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半導體與電子產業

半導體與電子產業製程密封件

Katon® 專注於為電子與半導體產業提供精密密封件。這些領域中的設備通常運作於高溫、高壓或高腐蝕性的環境,同時對潔淨度與穩定性要求極高。這些產業中的設備往往需要長時間穩定運作,並承受極端製程條件,因此密封材料必須具備出色的耐久性、抗化學性與低汙染特性。Katon® 所開發的密封件可適用於各類製程與設備,從電氣元件到無塵室系統,均能有效提升密封效能並延長設備壽命。

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氧化製程

氧化製程(如熱氧化與退火)是半導體元件製造中不可或缺的關鍵步驟。這些製程常伴隨極端高溫、乾/濕氧氣氛、長時間處理週期,並應用於氧化爐、擴散爐或燈退火系統等設備。此類惡劣條件對密封材料構成嚴峻挑戰,需具備優異的 耐高溫與耐氧化化學性。Katon® 針對此應用所開發的 FFKM 密封材料,能在高溫氧化環境中長時間維持密封效能,降低擴散、退火與氧化製程中的風險。

密封性能亮點

卓越的高溫耐受性,適用於爐管與退火製程環境
可相容於乾式與濕式氧化氣氛,包括 O₂、H₂O 蒸氣與惰性氣體
在熱循環與長時間高溫暴露下仍可維持密封效能
可供應標準與客製斷面,適配石英爐管、爐門與燈式退火機構

可供尺寸規格表

符合的 氧化製程 Katon®牌號

Katon® 牌號 材料 Shore A (±5) 溫度 架橋系統 顏色
Katon® 9075B 全氟 75 -10℃~317℃ / 14℉~602℉ 三嗪 黑色
Katon® 9080B 全氟 80 -10℃~317℃ / 14℉~602℉ 三嗪 黑色
Katon® 9075W 全氟 75 -10℃~317℃ / 14℉~602℉ 三嗪 米色
Katon® 9175C 全氟 72 -10℃~317℃ / 14℉~602℉ 三嗪 琥珀色
Katon® 8075B 全氟 75 -10℃~290℃/14℉~554℉ 過氧 黑色
Katon® 8075W 全氟 75 -10℃~290℃/14℉~554℉ 過氧 白色
Katon® 8175C 全氟 77 -10℃~290℃/14℉~554℉ 過氧 焦茶色

適用環境與條件

建議應用

  • 用於矽晶圓乾/濕熱氧化的高溫氧化爐設備
  • 在氧氣、氮氣或惰性氣氛下操作的退火爐與燈式退火系統
  • 靜態密封位置如石英管端、腔體爐門或法蘭接面等

不建議應用

  • 不需耐高溫性能的一般工業應用
  • 未採用專用配方時,接觸特定鹵素類化學品的應用
  • 接觸六氟化鈾(UF₆)的應用

客製服務與支援

在 Katon,我們不僅提供高品質的 Katon ORing 產品,更致力於為客戶打造全方位的專業服務體驗。我們的服務包含:

  • 專業技術諮詢:我們的工程團隊與產品專家將深入了解您的應用需求,提供量身打造的密封解決方案。

  • 客製化選項:可依需求提供客製尺寸、材料配方與結構設計,確保密封件完美符合您的應用條件。

  • 快速交貨能力:憑藉先進製造設備與流程,我們能縮短生產與交期,協助您如期完成專案。

  • 技術支援服務:從材料選擇、應用建議到故障排除,我們的技術團隊隨時提供即時協助。

  • 全球服務網絡:Katon® 服務遍佈全球各大產業,致力於為各領域客戶提供穩定可靠、具成本效益的密封品牌。

無論您需要標準 O-Ring 或特殊應用的客製化密封件,Katon® 都能協助您找到最合適的密封件。