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半導體與電子產業

半導體與電子產業製程密封件

Katon® 專注於為電子與半導體產業提供精密密封件。這些領域中的設備通常運作於高溫、高壓或高腐蝕性的環境,同時對潔淨度與穩定性要求極高。這些產業中的設備往往需要長時間穩定運作,並承受極端製程條件,因此密封材料必須具備出色的耐久性、抗化學性與低汙染特性。Katon® 所開發的密封件可適用於各類製程與設備,從電氣元件到無塵室系統,均能有效提升密封效能並延長設備壽命。

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金屬導線製程

在半導體製程中,金屬導線階段負責建立裝置間與層間的重要互連結構。此階段包含物理氣相沉積(PVD)、金屬化學氣相沉積(Metal CVD)、阻障層與種子層鍍膜、電化學電鍍等程序。上述製程通常伴隨高真空、金屬氣體與腐蝕性化學液,對密封材料構成重大挑戰。Katon® 專為這些嚴苛條件設計高耐熱 FFKM O-ring 與密封產品,提供穩定且潔淨的密封效能。

密封性能亮點

  • 在金屬 CVD 設備中表現優異,提供長效密封可靠性
  • 適用於真空腔體系統中的高性能密封應用
  • 在高真空 PVD / 金屬CVD 設備中具備極低出氣與微粒脫落特性
  • 具化學穩定性,可耐電鍍化學液與清洗後藥劑
  • 能承受高溫與長時間製程週期,適用於高溫工藝條件

可供尺寸規格表

符合的 金屬導線製程 Katon®牌號

Katon® 牌號 材料 Shore A (±5) 溫度 架橋系統 顏色
Katon® 9175C 全氟 72 -10℃~317℃ / 14℉~602℉ 三嗪 琥珀色
Katon® 7175C 全氟 78 -10℃~230℃/14℉~446℉ 過氧 米白色
Katon® 8175C 全氟 77 -10℃~290℃/14℉~554℉ 過氧 焦茶色

適用環境與條件

建議應用

  • 用於金屬薄膜與阻障層沉積之高真空系統
  • 高溫製程設備
  • 氣體輸送路徑、閥門密封、機構上蓋等需高熱與化學穩定性的密封點
  • 需要降低汙染與機台停機風險的半導體廠使用 FFKM 密封方案

不建議應用

  • 不需高純度密封性能的一般工業應用
  • 未採用專用配方時,接觸特定鹵素類化學品的應用
  • 接觸六氟化鈾(UF₆)的應用

客製服務與支援

在 Katon,我們不僅提供高品質的 Katon ORing 產品,更致力於為客戶打造全方位的專業服務體驗。我們的服務包含:

  • 專業技術諮詢:我們的工程團隊與產品專家將深入了解您的應用需求,提供量身打造的密封解決方案。

  • 客製化選項:可依需求提供客製尺寸、材料配方與結構設計,確保密封件完美符合您的應用條件。

  • 快速交貨能力:憑藉先進製造設備與流程,我們能縮短生產與交期,協助您如期完成專案。

  • 技術支援服務:從材料選擇、應用建議到故障排除,我們的技術團隊隨時提供即時協助。

  • 全球服務網絡:Katon® 服務遍佈全球各大產業,致力於為各領域客戶提供穩定可靠、具成本效益的密封品牌。

無論您需要標準 O-Ring 或特殊應用的客製化密封件,Katon® 都能協助您找到最合適的密封件。