選擇指定應用環境

半導體與電子產業

半導體與電子產業製程密封件

Katon® 專注於為電子與半導體產業提供精密密封件。這些領域中的設備通常運作於高溫、高壓或高腐蝕性的環境,同時對潔淨度與穩定性要求極高。這些產業中的設備往往需要長時間穩定運作,並承受極端製程條件,因此密封材料必須具備出色的耐久性、抗化學性與低汙染特性。Katon® 所開發的密封件可適用於各類製程與設備,從電氣元件到無塵室系統,均能有效提升密封效能並延長設備壽命。

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半導體製造設備與無塵室

本分類中的Katon® 牌號皆專為半導體製造設備與無塵室應用而設計,適用於高潔淨度需求的環境。此分類 O-ring 與密封材料採用無金屬填料配方,有效降低粒子釋放,並具備極佳的化學穩定性。產品符合半導體產業對潔淨度、耐化學性與製程穩定性的嚴格要求,確保設備運行高效且無污染。

密封性能亮點

採用無金屬填料設計。

具備卓越的耐化學性,適用於多種腐蝕性化學品環境。

極低粒子釋放,滿足半導體製程的潔淨要求。

優異的耐熱與耐化學性能,適用於高溫與強腐蝕條件。

可供尺寸規格表

符合的 半導體製造設備與無塵室 Katon®牌號

Katon® 牌號 材料 Shore A (±5) 溫度 架橋系統 顏色
Katon® 2070C FKM-Type 2 70 -5℃~200℃ / 23℉~392℉ 過氧 半透明米白色
Katon® 2075C FKM-Type 2 75 -5℃~200℃ / 23℉~392℉ 過氧 半透明米白色
Katon® 4070C FEPM-P 70 -15℃~230℃ / 5℉~446℉ 過氧 半透明米黃色
Katon® 4075C FEPM-P 75 -15℃~230℃ / 5℉~446℉ 過氧 半透明米黃色
Katon® 6070C FKM-TPF 70 -10℃~200℃ / 14℉~392℉ 過氧 半透明米白色
Katon® 6075C FKM-TPF 75 -10℃~200℃ / 14℉~392℉ 過氧 半透明米白色
Katon® 7175C FFKM 78 -10℃~230℃ / 14℉~446℉ 過氧 米白色
Katon® 8175C FFKM 77 -10℃~290℃ / 14℉~554℉ 過氧 焦茶色
Katon® 9175C FFKM 72 -10℃~317℃ / 14℉~602℉ 三嗪 琥珀色

適用環境與條件

建議應用

  • 高潔淨度無塵室,對粒子釋放有極低要求的應用。
  • 半導體製造設備,如真空蝕刻機與電漿處理設備。
  • 暴露於高腐蝕性化學品,且需維持高度潔淨度的環境。
  • 需具備卓越等離子耐受性與低放氣特性的應用場景。

不建議應用

  • 接觸熔融金屬或氣態鹼金屬的應用環境。
  • 涉及鹵化製冷劑或相關流體的應用。
  • 用於處理六氟化鈾(UF₆)的工業流程。

客製服務與支援

在 Katon,我們不僅提供高品質的 Katon ORing 產品,更致力於為客戶打造全方位的專業服務體驗。我們的服務包含:

  • 專業技術諮詢:我們的工程團隊與產品專家將深入了解您的應用需求,提供量身打造的密封解決方案。

  • 客製化選項:可依需求提供客製尺寸、材料配方與結構設計,確保密封件完美符合您的應用條件。

  • 快速交貨能力:憑藉先進製造設備與流程,我們能縮短生產與交期,協助您如期完成專案。

  • 技術支援服務:從材料選擇、應用建議到故障排除,我們的技術團隊隨時提供即時協助。

  • 全球服務網絡:Katon® 服務遍佈全球各大產業,致力於為各領域客戶提供穩定可靠、具成本效益的密封品牌。

無論您需要標準 O-Ring 或特殊應用的客製化密封件,Katon® 都能協助您找到最合適的密封件。